在半導(dǎo)體制造的精密世界里，每一絲雜質(zhì)都可能導(dǎo)致芯片良率驟降。作為電子特氣輸送系統(tǒng)的 “守門人”，不銹鋼電子特氣過濾器的性能直接關(guān)系到整個(gè)制程的穩(wěn)定性與可靠性。深圳恒歌深耕半導(dǎo)體氣體凈化領(lǐng)域，推出的 HF 系列、OF 系列與 SF 系列過濾器，以全 316L 不銹鋼構(gòu)造為核心，為高壓、高流量、高精度的氣體輸送場(chǎng)景提供全方位污染防護(hù)。

高壓環(huán)境下的氣體過濾向來是行業(yè)難題，HF 系列高壓氣體專用過濾器憑借 50MPa 的設(shè)計(jì)壓力突破了這一限制。其整體 316L 不銹鋼結(jié)構(gòu)不僅賦予設(shè)備卓越的抗腐蝕能力，更在 - 20℃至 150℃的寬溫范圍內(nèi)保持穩(wěn)定性能。在半導(dǎo)體制程的高壓高純氣體輸送系統(tǒng)中，它能高效濾除壓縮空氣中的塵埃、鐵銹、油霧及碳?xì)浠衔铮w粒過濾精度可達(dá) 0.003μm，確保進(jìn)入反應(yīng)腔的氣體純度始終維持在 ppb 級(jí)水平。輕量化設(shè)計(jì)與螺紋連接方式的結(jié)合，既減少了安裝空間占用，又通過兼容 C 型和 W 型密封規(guī)格，確保在高壓工況下的絕對(duì)密封性，100% 氨氣泄漏檢測(cè)的通過更印證了其密封可靠性。

面對(duì)高流量電子級(jí)氣體的超純凈化需求，OF 系列在線式專用氣體過濾器展現(xiàn)出獨(dú)特優(yōu)勢(shì)。全焊接 316L 不銹鋼外殼消除了潛在泄漏點(diǎn)，使其能與大宗氣體、惰性氣體等多種半導(dǎo)體工藝氣體完美兼容。在 LED、光伏及 MEMS 設(shè)備的氣體供應(yīng)系統(tǒng)中，該系列過濾器以 0.003μm 的超高過濾精度實(shí)現(xiàn) 99.999% 的顆粒攔截率，即便在 100slpm 的大流量工況下，仍能保持穩(wěn)定的壓降與過濾效率。可選的多點(diǎn)位在線安裝設(shè)計(jì)，讓它能靈活適配閥歧管箱、氣柜等不同工藝單元，為生產(chǎn)線的模塊化布局提供便利。

集成氣體輸送與控制系統(tǒng)對(duì)過濾器的小型化與集成性要求極高，SF 系列 IGS 面板專用過濾器應(yīng)運(yùn)而生。其緊湊體型融合全焊接與機(jī)械密封技術(shù)，既保留了 316L 不銹鋼的耐腐蝕性，又通過機(jī)械密封結(jié)構(gòu)避免了介質(zhì)與焊接點(diǎn)的直接接觸，進(jìn)一步提升了系統(tǒng)安全性。符合 SEMI 標(biāo)準(zhǔn)的表面安裝元件設(shè)計(jì)，使其能無縫融入半導(dǎo)體行業(yè)的集成氣體輸送系統(tǒng)，0.003μm 級(jí)的高效過濾能力與 9-LRV 清潔度保障，為設(shè)備升級(jí)提供了充足余量。

三款過濾器雖定位不同，但共同延續(xù)了深圳恒歌對(duì)品質(zhì)的極致追求。每臺(tái)設(shè)備出廠前均經(jīng)過 100% 完整性測(cè)試，確保濾芯與殼體的匹配精度;電解拋光的不銹鋼表面不僅提升了耐腐蝕性，更減少了氣體吸附與解吸帶來的純度波動(dòng)。可更換式濾芯設(shè)計(jì)則降低了后期維護(hù)成本，讓設(shè)備在長(zhǎng)期使用中始終保持最佳過濾狀態(tài)。

在半導(dǎo)體技術(shù)向 3nm、2nm 制程突破的今天，電子特氣的純度要求日益嚴(yán)苛。深圳恒歌以不銹鋼電子特氣過濾器為核心的凈化方案，正通過高強(qiáng)度、高精度、高可靠性的產(chǎn)品特性，為全球半導(dǎo)體廠商構(gòu)建起堅(jiān)實(shí)的氣體純度防線，助力微電子產(chǎn)業(yè)在精密制造的道路上穩(wěn)步前行。

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