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高純高壓氣體過濾器
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電子級(jí)特氣氣體過濾器_特氣柜電子氣氣體過濾器

  • 在半導(dǎo)體、LED、光伏及MEMS等高科技產(chǎn)業(yè)中,氣體的純度對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率有著至關(guān)重要的影響。恒歌科技憑借其在多孔金屬材料和精密燒結(jié)工藝領(lǐng)域的深厚積累,精心打造了專為高流量電子級(jí)氣體超純凈化設(shè)計(jì)的特氣柜電子氣氣體過濾器,為這些行業(yè)提供了一種可靠的氣體凈化解決方案。
  • 產(chǎn)品詳情

在半導(dǎo)體、LED、光伏及MEMS等高科技產(chǎn)業(yè)中,氣體的純度對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率有著至關(guān)重要的影響。恒歌科技憑借其在多孔金屬材料和精密燒結(jié)工藝領(lǐng)域的深厚積累,精心打造了專為高流量電子級(jí)氣體超純凈化設(shè)計(jì)的特氣柜電子氣氣體過濾器,為這些行業(yè)提供了一種可靠的氣體凈化解決方案。

一、產(chǎn)品特點(diǎn)

● 超高過濾精度:過濾精度高達(dá)0.003μm,能夠有效去除氣體中的微小雜質(zhì)顆粒,確保氣體的超高純度,滿足半導(dǎo)體制造等高精密行業(yè)的嚴(yán)格要求。

● 緊湊與高強(qiáng)度結(jié)構(gòu):結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)緊湊,同時(shí)具備高強(qiáng)度,這不僅使得過濾器在有限的空間內(nèi)能夠高效工作,還能夠承受較大的工作壓力,保證在高流量氣體供應(yīng)過程中的穩(wěn)定性和可靠性。

● 廣泛的氣體兼容性:與多種半導(dǎo)體工藝氣體兼容,尤其適用于大宗氣體及惰性氣體。無論是常見的氮?dú)狻鍤獾榷栊詺怏w,還是其他特殊工藝氣體,都能確保良好的過濾效果,不會(huì)與氣體發(fā)生化學(xué)反應(yīng),從而保障氣體的純度和工藝的穩(wěn)定性。

● 全焊接316L不銹鋼外殼:采用全焊接的316L不銹鋼外殼,這種材質(zhì)具有優(yōu)異的耐腐蝕性和耐高溫性能,能夠確保過濾器在各種惡劣的工作環(huán)境下長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行,同時(shí)與多數(shù)高純度半導(dǎo)體工藝氣體具有良好的兼容性,有效防止氣體污染,保障氣體的純度。

二、應(yīng)用場(chǎng)景

● 大流量特種氣體供應(yīng):在需要大量供應(yīng)特種氣體的生產(chǎn)過程中,如半導(dǎo)體制造中的外延生長(zhǎng)、離子注入等工藝,該過濾器能夠提供穩(wěn)定的高純度氣體,確保工藝的順利進(jìn)行和產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定。

● 超高純度氣棒連接:在氣棒與設(shè)備連接的過程中,氣體的純度至關(guān)重要。該過濾器能夠?yàn)槌呒兌葰獍籼峁┏呒兌冗^濾,有效去除氣棒中可能存在的雜質(zhì),保障氣體在傳輸過程中的純度,避免因氣體雜質(zhì)導(dǎo)致的設(shè)備故障和產(chǎn)品質(zhì)量問題。

● 半導(dǎo)體、LED、光伏及MEMS設(shè)備連接:在這些高科技設(shè)備的連接中,氣體的純度直接影響設(shè)備的性能和使用壽命。該過濾器能夠滿足閥歧管箱、氣柜等工藝需求,為設(shè)備提供超高純度的氣體,確保設(shè)備的穩(wěn)定運(yùn)行和高性能輸出。

三、定制化服務(wù)

恒歌科技深知不同客戶在生產(chǎn)工藝和設(shè)備配置上的差異,因此提供定制化服務(wù)。根據(jù)客戶的特定需求,如氣體類型、流量要求、安裝空間等,設(shè)計(jì)和制造符合其工藝要求的過濾器。這種定制化服務(wù)能夠確保過濾器與客戶的生產(chǎn)系統(tǒng)完美匹配,最大限度地發(fā)揮其過濾效果,同時(shí)為客戶節(jié)省成本和時(shí)間。

四、行業(yè)優(yōu)勢(shì)

● 專業(yè)研發(fā)團(tuán)隊(duì):恒歌科技擁有一支專業(yè)的研發(fā)團(tuán)隊(duì),專注于多孔金屬材料和精密燒結(jié)工藝的研究與開發(fā),不斷探索新的技術(shù)突破,以提升過濾器的性能和質(zhì)量。

● 嚴(yán)格的質(zhì)量控制:從原材料采購到產(chǎn)品生產(chǎn),再到最終的出廠檢驗(yàn),恒歌科技都建立了嚴(yán)格的質(zhì)量控制體系。每一件過濾器都經(jīng)過精密的檢測(cè)和測(cè)試,確保其符合高標(biāo)準(zhǔn)的質(zhì)量要求,為客戶提供可靠的產(chǎn)品保障。

● 完善的售后服務(wù):恒歌科技為客戶提供完善的售后服務(wù),包括產(chǎn)品安裝指導(dǎo)、技術(shù)培訓(xùn)、售后維修等。在客戶使用過程中遇到任何問題,都能得到及時(shí)有效的解決,讓客戶無后顧之憂。

恒歌特氣柜電子氣氣體過濾器以其卓越的性能、廣泛的應(yīng)用場(chǎng)景和專業(yè)的定制化服務(wù),成為了高流量電子級(jí)氣體超純凈化領(lǐng)域的理想選擇。它不僅能夠有效保障氣體的超高純度,還能滿足各種復(fù)雜工藝需求,助力半導(dǎo)體、LED、光伏及MEMS等高科技產(chǎn)業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展。


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