半導(dǎo)體潔凈室對(duì)氣路系統(tǒng)的密封性要求極高，任何微小的泄漏都可能導(dǎo)致潔凈度下降，影響產(chǎn)品質(zhì)量。深圳恒歌 TF 系列中的全焊接直通型過(guò)濾器(W 型一體式過(guò)濾器)，以全焊接結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)為核心，實(shí)現(xiàn)了 “零泄漏” 的密封效果，為半導(dǎo)體潔凈室提供可靠的工藝氣體凈化保障。

全焊接結(jié)構(gòu)是該過(guò)濾器的核心設(shè)計(jì)亮點(diǎn)。閥體與過(guò)濾元件采用全滲透焊接工藝，徹底消除了傳統(tǒng)連接方式可能存在的密封間隙，從根本上杜絕氣體泄漏風(fēng)險(xiǎn)，滿(mǎn)足半導(dǎo)體潔凈室對(duì)氣路密封性的嚴(yán)苛要求。同時(shí)，全焊接結(jié)構(gòu)還增強(qiáng)了設(shè)備的整體強(qiáng)度，使其能承受更高的工作壓力(可達(dá) 414bar/6000psig)與更寬的溫度范圍(-28~+482℃)，適配各類(lèi)高要求工藝場(chǎng)景。

材質(zhì)方面，全焊接直通型過(guò)濾器采用整體 316L 不銹鋼打造，具備出色的耐腐蝕性能，可兼容半導(dǎo)體制造中常用的硅烷、氨氣、氯化氫等腐蝕性工藝氣體，避免材質(zhì)腐蝕導(dǎo)致的凈化失效或雜質(zhì)析出問(wèn)題。其超高顆粒攔截率能精準(zhǔn)清除 UHP 超純氣流中的微粒雜質(zhì)，過(guò)濾元件公稱(chēng)孔尺寸涵蓋 0.5、2、7、15、40μm 等多種規(guī)格，可根據(jù)不同工藝需求靈活選擇(注：W 型一體式僅提供濾網(wǎng)式濾芯)。

在使用便利性上，該過(guò)濾器具備獨(dú)特的逆流沖洗功能。當(dāng)氣體逆流時(shí)，可直接完成過(guò)濾元件的沖洗過(guò)程，無(wú)需拆卸設(shè)備即可實(shí)現(xiàn)清潔維護(hù)，大幅減少停機(jī)時(shí)間，提升生產(chǎn)效率。同時(shí)，其高通量、低阻力的設(shè)計(jì)特點(diǎn)，可在高效過(guò)濾的同時(shí)保障氣路流量穩(wěn)定，降低壓力損耗。

所有全焊接直通型過(guò)濾器均經(jīng)過(guò) 100% 完整性測(cè)試與 100% 氨氣檢漏測(cè)試，出廠(chǎng)品質(zhì)符合半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。無(wú)論是半導(dǎo)體芯片制造的核心工藝，還是精密電子元件生產(chǎn)的潔凈環(huán)境，該過(guò)濾器都能以零泄漏的密封性能與高效的凈化效果，成為工藝氣體凈化的可靠屏障。