在半導體制造領域,氣體的純度直接影響著產品的質量和性能。深圳恒歌推出的BF系列大宗氣體專用過濾器,專為半導體制程超高純工藝氣體在線過濾應用設計,是高純大流量過濾器的典范。該過濾器采用全316L不銹鋼精密打造,不僅堅固耐用,還具備卓越的耐腐蝕性能,能夠適應半導體制造過程中復雜的化學環(huán)境。
產品特點
● 超高純度保障:過濾精度高達0.003μm,能夠有效攔截氣體中的微小顆粒,確保氣體的超高純度,滿足半導體制造對氣體純度的嚴格要求。
● 高通量低阻力:多柱狀或疊盤狀介質設計,確保在高流通量下保持低阻損,保障氣體的順暢輸送,提高生產效率。
● 耐高溫高壓:整體金屬構造,耐高溫、耐高壓,適用于高溫動態(tài)環(huán)境,是半導體潔凈室制造、測試和包裝的理想選擇。
● 廣泛適用性:適用于多種工藝氣體,無論是氮氣、氬氣還是其他特種氣體,都能有效過濾,確保氣體的純凈度。
● 嚴格質量檢測:100%完整性測試和100%氨氣檢漏測試,確保每一臺過濾器都符合最高質量標準。
深圳恒歌的BF系列高純大流量過濾器,憑借其卓越的性能和可靠的品質,為半導體制造提供了堅實的保障,助力客戶實現(xiàn)高效、穩(wěn)定的生產。