在高壓高純氣體輸送過程中,污染物的存在往往會導(dǎo)致設(shè)備故障、制程缺陷等問題,而深圳恒歌高純高壓氣體過濾器正是解決這一痛點的關(guān)鍵。其 316L 不銹鋼結(jié)構(gòu)能承受 50Mpa 的高壓,有效抵御腐蝕與高溫,為凈化過程提供穩(wěn)定的硬件支撐。
該過濾器通過高效過濾技術(shù),可精準(zhǔn)去除壓縮空氣中的塵埃、鐵銹、油霧及碳?xì)浠衔铮踔?0.003μm 的納米級雜質(zhì)也能被徹底攔截,從源頭避免污染對系統(tǒng)的損害。小型化設(shè)計與靈活的螺紋連接,使其能輕松安裝于各類超高純氣體箱系統(tǒng),減少空間占用。濾芯可更換的特性降低了維護(hù)難度,讓系統(tǒng)保養(yǎng)更高效。100% 的完整性與氨氣泄露檢測確保了無泄漏隱患,持續(xù)為半導(dǎo)體制程提供高純度氣體,保障設(shè)備高效運行,減少因污染導(dǎo)致的停機損失。